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一种基于数字孪生的石英玻璃通孔刻蚀预测方法及其装置
摘要文本
本发明公开了一种基于数字孪生的石英玻璃通孔刻蚀预测方法及其装置，所述预测方法包括，获取石英玻璃通孔刻蚀过程的历史数据和实时数据；获取石英玻璃通孔刻蚀过程的历史数据和实时数据的虚拟可视化属性，根据所述虚拟可视化属性建立数字孪生模型；根据所述数字孪生模型进行训练得到预测模型；根据所述预测模型模拟并预测通孔刻蚀结果，并根据所述实时数据对所述预测模型进行迭代优化。本发明无需反复实验进行优化，能够基于当前刻蚀出的玻璃通孔的结果及映射到数字孪生模型上的数据，自动对当前实验参数进行优化，不仅节省了人力和财力资源，也提高了实验效率；同时可以实时监控和提供质量保障，确保了刻蚀过程的稳定性和可靠性。。来源：马 克 团 队
申请人信息
- 申请人:武汉大学
- 申请人地址:430072 湖北省武汉市武昌区八一路299号
- 发明人: 武汉大学
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种基于数字孪生的石英玻璃通孔刻蚀预测方法及其装置 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311657510.1 |
| 申请日 | 2023/12/4 |
| 公告号 | CN117743784A |
| 公开日 | 2024/3/22 |
| IPC主分类号 | G06F18/20 |
| 权利人 | 武汉大学 |
| 发明人 | 东芳; 欧阳宇航; 刘胜; 侯冬杨; 周振; 沈威 |
| 地址 | 湖北省武汉市武昌区珞珈山 |
专利主权项内容
1.一种基于数字孪生的石英玻璃通孔刻蚀预测方法，其特征在于，包括，获取石英玻璃通孔刻蚀过程的历史数据和实时数据；获取石英玻璃通孔刻蚀过程的历史数据和实时数据的虚拟可视化属性，根据所述虚拟可视化属性建立数字孪生模型；根据所述数字孪生模型进行训练得到预测模型；根据所述预测模型模拟并预测通孔刻蚀结果，并根据所述实时数据对所述预测模型进行迭代优化。 百度搜索马 克 数 据 网