半导体测试装置、半导体测试方法及探针

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本发明提供了一种半导体测试装置、半导体测试方法及探针，半导体测试装置包括：测试单元，包括探针，所述探针用于进行测试；刚柔调节单元，用于在测试时调节所述探针由刚性转变为柔性，以及，用于在所述探针离开被测件后调节所述探针由柔性转变为刚性。本发明的技术方案使得探针能够与焊盘充分接触，进而使得能够提高探针测试的准确性。