一种整形光斑连续可调的激光整形加工装置及其调节方法

专利主权项内容

1.一种整形光斑连续可调的激光整形加工装置，其特征在于：包括激光加工光源、透镜、整形器件、准直系统和聚焦系统；所述激光加工光源所发出激光加工光束为准直光束；所述透镜布置在激光加工光源之前，且其中轴与激光加工光束的光轴重合，透镜用于将激光加工光束转换为点光束，作为待整形光束；所述整形器件布置在透镜之前，整形器件用于将待整形光束整形为目标形态的已整形光束，整形器件设置在位移机构上，位移机构用于驱动整形器件沿待整形光束的光轴移动；所述准直系统布置在整形器件之前，且其中轴与已整形光束的光轴重合，准直系统用于将已整形光束准直；所述聚焦系统布置在准直系统之前，且其中轴与已整形光束的光轴重合，聚焦系统用于将准直后的已整形光束聚焦至待加工样品的表面，在待加工样品的表面形成供激光整形加工的单焦点整形光斑或多焦点整形光斑；所述整形器件沿待整形光束的光轴连续移动，将连续调节待加工样品的表面所形成单焦点整形光斑的尺寸或多焦点整形光斑的间距。