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一种高倍率消球差紫外扩束镜
摘要文本
本发明提出了一种高倍率消球差紫外扩束镜，涉及激光技术领域，包括第一扩束透镜组和第二扩束透镜组，其中，第一扩束透镜组包括具有负屈折力的第一透镜；第二扩束透镜组包括具有负屈折力的第二透镜和具有正屈折力的第三透镜，第二透镜和第三透镜位于同一光轴；第一扩束透镜组和第二扩束透镜组的主光轴共轴；第一扩束透镜组的焦距F1满足：‑5.5＜F1＜‑4.5；第二扩束透镜组的焦距F2满足：68.5＜F2＜71.5；第二扩束透镜组与第一扩束透镜组的焦距之比满足：‑15.89＜F2/F1＜‑12.45。本发明有助于实现扩束镜小体量的同时提升扩束镜的球差校正效果。
申请人信息
- 申请人:武汉光至科技有限公司
- 申请人地址:430000 湖北省武汉市东湖新技术开发区高新四路28号武汉光谷电子工业园三期2号厂房4层1号(自贸区武汉片区)
- 发明人: 武汉光至科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种高倍率消球差紫外扩束镜 |
| 专利类型 | 发明授权 |
| 申请号 | CN202311775091.1 |
| 申请日 | 2023/12/22 |
| 公告号 | CN117452655B |
| 公开日 | 2024/3/19 |
| IPC主分类号 | G02B27/09 |
| 权利人 | 武汉光至科技有限公司 |
| 发明人 | 李超; 黄志华; 朱星 |
| 地址 | 湖北省武汉市东湖新技术开发区高新四路28号武汉光谷电子工业园三期2号厂房4层1号(自贸区武汉片区) |
专利主权项内容
1.一种高倍率消球差紫外扩束镜，其特征在于，包括第一扩束透镜组(1)和第二扩束透镜组(2)，其中，所述第一扩束透镜组(1)包括具有负屈折力的第一透镜(11)；所述第二扩束透镜组(2)包括具有负屈折力的第二透镜(21)和具有正屈折力的第三透镜(22)，所述第二透镜(21)和所述第三透镜(22)位于同一光轴；所述第一扩束透镜组(1)和所述第二扩束透镜组(2)的主光轴共轴；所述第一扩束透镜组(1)的焦距F1满足：-5.5＜F1＜-4.5；所述第二扩束透镜组(2)的焦距F2满足：68.5＜F2＜71.5；所述第二扩束透镜组(2)与所述第一扩束透镜组(1)的焦距之比满足：-15.89＜F2/F1＜-12.45。