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一种精密基板气浮输送系统及方法

申请号: CN202311734149.8
申请人: 武汉国创科光电装备有限公司
申请日期: 2023/12/15

摘要文本

本申请涉及一种精密基板气浮输送系统及方法,该系统包括包括:吸附输送组件,吸附输送组件包括沿输送方向运动的吸附端;气浮支撑组件,气浮支撑组件包括气浮台,气浮台的气浮面在输送方向上依次包括第一输送区、精密区和第二输送区,精密区在输送方向上分为多个精密段。本申请通过将第一输送区、精密区和第二输送区中的分段设计,以在第一输送区和第二输送区与精密区交界处,通过适应性改变各分段的气压和流量,使得柔性面板逐渐地在交界处过渡,避免柔性面板出现骤升或者骤降的情况,减小处于精密区内的柔性面板的高度波动范围,提高加工质量。 更多数据:搜索马克数据网来源:www.macrodatas.cn

专利详细信息

项目 内容
专利名称 一种精密基板气浮输送系统及方法
专利类型 发明申请
申请号 CN202311734149.8
申请日 2023/12/15
公告号 CN117622882A
公开日 2024/3/1
IPC主分类号 B65G51/02
权利人 武汉国创科光电装备有限公司
发明人 唐伟; 张礼军; 付宇; 潘浩
地址 湖北省武汉市东湖新技术开发区左岭镇左岭路117号光电子配套产业园一期厂房1号楼

专利主权项内容

1.一种精密基板气浮输送系统,用于输送柔性面板,其特征在于,其包括:吸附输送组件,所述吸附输送组件包括沿输送方向运动的吸附端,所述吸附端用于吸附所述柔性面板;气浮支撑组件,所述气浮支撑组件包括气浮台,所述气浮台的气浮面在所述输送方向上依次包括第一输送区、精密区和第二输送区,所述精密区在所述输送方向上分为多个精密段;控制模组,所述控制模组与所述气浮台的压力供给件电连接,以对多个所述第一输送区、多个所述精密段和多个所述第二输送区的压力和流量进行控制,以改变所述柔性面板处于所述气浮台不同位置处的飞高。