一种体声波谐振器及其制备方法

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本发明公开了一种体声波谐振器及其制备方法。其中，体声波谐振器包括：衬底、换能器堆叠结构和保护层，换能器堆叠结构位于衬底一侧；衬底中设置有空腔，空腔贯穿部分衬底；换能器堆叠结构中设置有释放通道，释放通道贯穿换能器堆叠结构；释放通道与空腔连通，且释放通道的开口面积小于空腔的开口面积；换能器堆叠结构靠近衬底一侧的表面包括释放区域和非释放区域；释放区域与释放通道对应；保护层覆盖非释放区域，且覆盖空腔的侧壁。本发明的技术方案，在体声波谐振器中设置保护层，一方面可以隔离腐蚀气体与换能器堆叠结构，保护换能器堆叠结构不被腐蚀气体腐蚀；另一方面可以起到对空腔范围限位的作用，避免腐蚀气体在衬底中过释放的问题。