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一种基于吸收光谱的CVD在线原位表征系统和方法
摘要文本
本发明公开了一种基于吸收光谱的CVD在线原位表征系统和方法，属于半导体生产设备技术领域。该CVD原位表征系统包括吸收光谱检测装置、光谱移动与光路校准装置和管式CVD设备，通过对现有管式CVD设备进行改进并配合所提出的环境补偿方法，实现了对于高温低压环境下的化学气相沉积过程的准确检测，而且由于本申请可以实现实时检测，因此可以获得样品或反应体系随时间变化的规律，结合系统温度和压力的变化，进一步获得样品或反应体系随温度、压力等环境变化的规律，从而能够确定最佳沉积条件。另外通过自动光路校准使得该系统可以在化学气相沉积过程对石英管内任意位置处的样品的沉积情况进行就检测，进而可以快速确定样品准确的生长窗口。
申请人信息
- 申请人:浙江大学
- 申请人地址:310058 浙江省杭州市西湖区余杭塘路866号
- 发明人: 浙江大学
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种基于吸收光谱的CVD在线原位表征系统和方法 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202410122785.3 |
| 申请日 | 2024/1/30 |
| 公告号 | CN117647490A |
| 公开日 | 2024/3/5 |
| IPC主分类号 | G01N21/01 |
| 权利人 | 浙江大学 |
| 发明人 | 项荣; 马亦诚; 王凌峰; 郑一格; 张俊涵; 董会旭 |
| 地址 | 浙江省杭州市西湖区余杭塘路866号 |
专利主权项内容
1.一种基于吸收光谱的CVD在线原位表征系统，其特征在于，所述系统包括：吸收光谱检测装置、光谱移动与光路校准装置和管式CVD设备；其中，吸收光谱检测装置包括光源、光源发射装置、光源接收装置以及与光源接收装置相连的光谱仪；光谱移动与光路校准装置包括两条移动轨道，光源发射装置和光源接收装置分别安装在两条移动轨道上；管式CVD设备包括炉膛、石英管以及石英管内用于承载沉积样品的石英舟；炉膛上开设有平行于石英管的两条对称通光槽，两条通光槽以石英管轴向中心线为对称轴，光谱移动与光路校准装置中的两条移动轨道分别位于炉膛外侧对应两条通光槽的位置处，从而使得光源发射装置和光源接收装置能够沿着石英管的轴向直线移动以实现对于石英管内任一位置出的样品的原位检测；光源发射装置发出的光通过通光槽、透过石英管以及其中的沉积样品到达光源接收装置，进而通过光谱仪根据接受到的光源进行光谱分析实现对于沉积样品的原位检测。。微信公众号