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高速高精度搬运装置
摘要文本
本发明公开了高速高精度搬运装置，涉及半导体制备设备技术领域，高速高精度搬运装置包括基体，顶侧设有机械臂组件，机械臂组件端部转动设有搬运组件，搬运组件包括上下设置的第一支撑板和第二支撑板，搬运组件包括转动轴，第一支撑板和第二支撑板之间设有缓冲组件，第一支撑板和第二支撑板远离转动轴一侧设有吸附组件，两吸附组向背设置，吸附组件包括吸附基板，吸附基板上设有分隔条，分隔条将吸附基板分隔为吸附区和分离区，吸附区内布设有吸附装置，分离区内设有排气件，吸附基板朝向转动轴一侧设有气管接头。本发明的目的在于提供一种效率高且效果好、无划痕的高速高精度搬运装置。
申请人信息
- 申请人:无锡星微科技有限公司杭州分公司
- 申请人地址:310000 浙江省杭州市翠苑街道翠苑二区8-2幢配套用房1740室
- 发明人: 无锡星微科技有限公司杭州分公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 高速高精度搬运装置 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202410028393.0 |
| 申请日 | 2024/1/9 |
| 公告号 | CN117542777A |
| 公开日 | 2024/2/9 |
| IPC主分类号 | H01L21/677 |
| 权利人 | 无锡星微科技有限公司杭州分公司 |
| 发明人 | 陆敏杰; 沈恒宇 |
| 地址 | 浙江省杭州市翠苑街道翠苑二区8-2幢配套用房1740室 |
专利主权项内容
1.高速高精度搬运装置，包括基体(1)，所述基体(1)顶侧设有机械臂组件(2)，所述机械臂组件(2)端部转动设有搬运组件(3)，所述搬运组件(3)包括上下设置的第一支撑板(31)和第二支撑板(32)，所述搬运组件(3)还包括转动轴，所述转动轴贯穿第一支撑板(31)和第二支撑板(32)一侧，所述第一支撑板(31)和第二支撑板(32)能够共同转动，其特征在于，所述第一支撑板(31)和第二支撑板(32)之间设有缓冲组件(4)，所述第一支撑板(31)和第二支撑板(32)远离转动轴一侧分别设有吸附组件(5)，两所述吸附组件(5)向背设置，所述吸附组件(5)包括吸附基板(51)，所述吸附基板(51)上设有分隔条(52)，所述分隔条(52)将吸附基板(51)分隔为吸附区(53)和分离区(54)，所述吸附区(53)内布设有吸附装置(6)，所述分离区(54)内设有排气件(55)，所述吸附基板(51)朝向转动轴一侧设有气管接头(56)。。来自：马 克 团 队