一种光电流场驱动团簇催化原子级确定性加工方法

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本发明公开了一种光电流场驱动团簇催化原子级确定性加工方法，属于超精密加工领域，包括以下步骤：选择具有光催化活性的纳米颗粒作为光催化介质，采用光还原法实现金属纳米颗粒在光催化介质表面的析出，制备光电催化团簇；将其与去离子水混合制备抛光液；利用催化光源照射至工件待加工面、光电催化团簇和柔性工具的耦合区域，同时为工件的导电托盘施加偏压；对柔性工具头施加法向负载并设置转速，产生流体动压力驱动抛光液流动，实现原子级精度的可控去除。本发明通过光电催化团簇中的金属颗粒捕获光生电子，提高光生载流子寿命，通过空间电场抑制电子空穴对复合，形成大量新的反应活性位点，提高限域内光催化反应速率，避免工件表面划伤。