大行程晶圆搬运机器人
摘要文本
本发明公开了大行程晶圆搬运机器人，涉及晶圆搬运技术领域，大行程晶圆搬运机器人包括运移组件和搬运组件，运移组件用于搬运组件在空间上移动，搬运组件包括搬运基板，搬运基板一端延伸设有平行设置的搬运杆，搬运杆套设有吸附件，吸附件包括第一套体，搬运杆套设在第一套体的内部；第一套体侧方设有吸附基台，吸附基台相对两侧设有吸附副台，吸附副台配置有辅助件，辅助件内部配置有与外界连通的气路。本发明的目的在于提供一种大行程晶圆搬运机器人，能够实现对晶圆的大批量、高稳定性搬运，提高搬运效率，并可扩大使得晶圆移动的范围、提升搬运灵活性。
申请人信息
- 申请人:无锡星微科技有限公司杭州分公司
- 申请人地址:310000 浙江省杭州市翠苑街道翠苑二区8-2幢配套用房1740室
- 发明人: 无锡星微科技有限公司杭州分公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 大行程晶圆搬运机器人 |
| 专利类型 | 发明授权 |
| 申请号 | CN202410022657.1 |
| 申请日 | 2024/1/8 |
| 公告号 | CN117549327B |
| 公开日 | 2024/4/2 |
| IPC主分类号 | B25J11/00 |
| 权利人 | 无锡星微科技有限公司杭州分公司 |
| 发明人 | 陆敏杰; 贺慧平; 王兆昆 |
| 地址 | 浙江省杭州市翠苑街道翠苑二区8-2幢配套用房1740室 |
专利主权项内容
1.大行程晶圆搬运机器人，包括运移组件(1)和搬运组件(2)，所述运移组件(1)用于搬运组件(2)在空间上移动，其特征在于，所述搬运组件(2)包括搬运基板(21)，所述搬运基板(21)一端延伸设有平行设置的搬运杆(22)，所述搬运杆(22)套设有吸附件(3)，所述吸附件(3)包括第一套体(31)，所述搬运杆(22)套设在所述第一套体(31)的内部；所述第一套体(31)侧方设有吸附基台(32)，所述吸附基台(32)相对两侧设有吸附副台(33)，所述吸附副台(33)配置有辅助件(4)，所述辅助件(4)内部配置有与外界连通的气路；所述吸附副台(33)延伸设有延伸板(34)，延伸板(34)的上表面低于吸附副台(33)的上表面；所述延伸板(34)设有安装孔(35)，所述辅助件(4)设于所述安装孔(35)内部；所述辅助件(4)包括辅助筒体(41)，所述辅助筒体(41)贯穿安装孔(35)设置，所述辅助筒体(41)一端为开放端(42)，所述开放端(42)延伸设有延伸环；所述辅助筒体(41)另一端连接有辅助气管(43)，所述辅助筒体(41)远离开放端(42)的一侧设有装配盘(44)，所述装配盘(44)套设在所述辅助气管(43)的外侧；所述运移组件(1)包括第一移动组件(11)，所述第一移动组件(11)上配合设有第一移动板(12)，所述第一移动板(12)上设有旋转电机(13)，所述旋转电机(13)上设有第二移动组件(14)，所述第二移动组件(14)上配合设有第二移动板(15)，所述第二移动板(15)一侧固设有基板(16)；所述基板(16)一侧设有不少于两个的伸缩件(17)，所述伸缩件(17)端部连接搬运基板(21)，所述搬运基板(21)靠近伸缩件(17)一侧设有滑移块(23)，所述基板(16)上设有与滑移块(23)相配合的滑槽(18)。