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一种CVD在线原位称重系统和方法
摘要文本
本发明公开了一种CVD在线原位称重系统和方法，属于半导体制造技术领域。本申请考虑传感器无法应用于石英管内的高温环境下，采用了长悬臂连接称重传感器和样品载体，根据力矩原理计算得到传感器测量值，同时，考虑高温低压环境，预先获取对应的温度?质量补偿曲线和气压补偿值，对测量值进行相应温度和气压的补偿，从而得到更精确的质量值，实现了沉积过程中对沉积样品的原位质量检测。针对高温环境，本申请称重系统设计了传感器?连接门?航插一体化结构，提高了结构的可靠性，在保证密封性能的同时，优化了系统结构。
申请人信息
- 申请人:浙江大学
- 申请人地址:310058 浙江省杭州市西湖区余杭塘路866号
- 发明人: 浙江大学
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种CVD在线原位称重系统和方法 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202410122781.5 |
| 申请日 | 2024/1/30 |
| 公告号 | CN117647300A |
| 公开日 | 2024/3/5 |
| IPC主分类号 | G01G19/52 |
| 权利人 | 浙江大学 |
| 发明人 | 项荣; 戚杭哲; 徐晨阳; 马亦诚; 王凌峰; 郑一格 |
| 地址 | 浙江省杭州市西湖区余杭塘路866号 |
专利主权项内容
1.一种CVD在线原位称重系统，其特征在于，所述系统应用于卧式管式CVD设备，所述系统包括：长悬臂、称重传感器、温度传感器和质量补偿模块，所述长悬臂和称重传感器置于CVD设备中的石英管内，其中长悬臂一端通过耐高温连接件与称重传感器进行连接，长悬臂另一端用于放置沉积样品；所述称重传感器设置在石英管一端封口处，称重传感器通过航插连接器将测量信号传至石英管外的质量补偿模块；所述温度传感器设置在对应沉积样品位置处的石英管外壁上，用于实时获取沉积样品位置处的温度；所述质量补偿模块用于对称重传感器的测量值进行温度-质量补偿和气压-质量补偿。