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一种碲化镉薄膜电池及其制备方法

申请号: CN202410246468.2
申请人: 龙焱能源科技(杭州)有限公司
申请日期: 2024/3/5

摘要文本

本发明公开了一种碲化镉薄膜电池及其制备方法,其中,一种碲化镉薄膜电池的制备方法,包括:在进行TCO镀膜基底深度清洁步骤中,采用溅射工艺的等离子体辉光对TCO镀膜基底的表面进行清洁并同步在TCO镀膜基底表面沉积不连续层;所述不连续层的材质与TCO镀膜基底表层的材质或者与后续制备在TCO镀膜基底表层的层状结构的材质相同。本发明利用溅射工艺的等离子体辉光对TCO表面进行清洁、活化,起到减少TCO层表面缺陷的作用,同时,不连续层可起到增强后续制备在TCO镀膜基底表层的层状结构与TCO镀膜基底表层的结合力的作用,不会作为杂质存在于电池内部,达到提升电池转化效率的效果。

专利详细信息

项目 内容
专利名称 一种碲化镉薄膜电池及其制备方法
专利类型 发明申请
申请号 CN202410246468.2
申请日 2024/3/5
公告号 CN117832333A
公开日 2024/4/5
IPC主分类号 H01L31/18
权利人 龙焱能源科技(杭州)有限公司
发明人 徐学雷; 汤顺伟; 麻永强
地址 浙江省杭州市经济技术开发区白杨街道凌云街801号

专利主权项内容

1.一种碲化镉薄膜电池的制备方法,其特征在于,包括:在进行TCO镀膜基底深度清洁步骤中,采用溅射工艺的等离子体辉光对TCO镀膜基底的表面进行清洁并同步在TCO镀膜基底表面沉积不连续层;所述不连续层的材质与TCO镀膜基底表层的材质或者与后续制备在TCO镀膜基底表层的层状结构的材质相同。 (来自 )