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一种集成式气相沉积炉
摘要文本
扬州市硕成伟业电热设备有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术,一种集成式气相沉积炉,包括炉体,在所述的炉体上设置有顶盖,所述的顶盖和炉体之间依靠螺栓进行固定,在所述的顶盖上设置有进气端口,在所述的进气端口上设置有进气管,在所述的炉体内部设置有沉积平台,在炉体上设置有侧边台,所述的沉积平台依靠侧边台搁置在炉体内部,在所述的沉积平台上设置有多个沉积槽,可以利用沉积平台进行零部件的放置,这样能够很好的便于后续零部件的沉积处理,在沉积炉的底部设置有沉积料渣回收舱,能够满足了废料渣的回收,而且在回收的时候,不需要整体拆除沉积炉,能够降低后续沉积炉的回收和维护的成本,使得料渣处理的效率也进一步提升。
专利主权项内容
1.一种集成式气相沉积炉,包括炉体,在所述的炉体上设置有顶盖,所述的顶盖和炉体之间依靠螺栓进行固定,在所述的顶盖上设置有进气端口,在所述的进气端口上设置有进气管,在所述的炉体内部设置有沉积平台,在炉体上设置有侧边台,所述的沉积平台依靠侧边台搁置在炉体内部,在所述的沉积平台上设置有多个沉积槽,其特征在于:所述的炉体的底部设置有沉积料渣回收舱,所述的沉积料渣回收舱底部设置有滑轮,在所述的炉体底部设置有盖合门,所述的盖合门和炉体之间依靠活动螺栓固定。
专利申请信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种集成式气相沉积炉 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202323409379.5 |
| 申请日 | 2023/12/14 |
| 公告号 | CN222082887U |
| 公开日 | 2024/11/29 |
| IPC主分类号 | C23C16/44 |
| 权利人 | 扬州市硕成伟业电热设备有限公司 |
| 发明人 | 黄硕; 周伟; 黄志国 |
| 地址 | 江苏省扬州市江都区丁伙镇工业园 |