一种可同步进行公转和自转的旋转架

专利主权项内容

1.一种可同步进行公转和自转的旋转架，其特征在于：包括转动架机构(1)以及公自转驱动机构(2)；所述公自转驱动机构(2)与所述转动架机构(1)驱动连接；所述转动架机构(1)包括固定支架(11)以及多个转架组件(5)，多个所述转架组件(5)均匀安装在所述固定支架(11)中，所述转架组件(5)能够相对于所述固定支架(11)进行旋转运动；所述公自转驱动机构(2)包括驱动主轴(21)、齿圈(22)和多个驱动齿轮(23)，所述驱动主轴(21)与所述固定支架(11)连接、且所述驱动主轴(21)与外部驱动部件驱动连接；所述齿圈(22)设置在所述驱动主轴(21)的外侧、且所述齿圈(22)与外部PECVD设备固定连接，每个所述转架组件(5)均固定设置有一个所述驱动齿轮(23)，驱动齿轮(23)与齿圈(22)相啮合；所述齿圈(22)与所述驱动齿轮(23)的齿数比为n：2，其中n为自然数且n≥2。