一种原子层沉积镀膜设备反应过程进气定量定温结构

专利主权项内容

1.一种原子层沉积镀膜设备反应过程进气定量定温结构，包括恒温加热器(1)，其特征在于：所述恒温加热器(1)一侧设置有加热器一(2)，所述恒温加热器(1)另一侧设置有加热器二(3)，所述恒温加热器(1)另一侧设置有测温器(4)，所述恒温加热器(1)一侧设置有两个控制阀门(5)，两个所述控制阀门(5)一端均设置有进气阀门通路一(6)，两个所述进气阀门通路一(6)另一端固定有连接管路(7)，所述连接管路(7)另一侧设置有进气管路一(8)，所述连接管路(7)另一侧设置有进气管路二(9)，两个所述控制阀门(5)另一端均设置有进气阀门通路二(10)，两个所述进气阀门通路二(10)另一端均开设有进气孔(11)，两个所述控制阀门(5)另一端均设置有进气阀门通路三(12)，两个所述进气阀门通路三(12)另一端均固定有反应气体源瓶(13)。