内炉管组件以及反应炉

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拉普拉斯新能源科技股份有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本申请提供了一种内炉管组件以及反应炉，涉及半导体或光伏材料加工领域，解决了内炉管在工艺上成型难度大的技术问题。该内炉管组件包括：侧板组件，具有组合状态和拆分状态，且包括至少两个子侧板，至少两个子侧板被配置为能够在组合状态下合围以形成反应炉的反应腔，组合状态下的侧板组件具有相对的第一端面开口和第二端面开口；层板，用于与组合状态下的侧板组件的第一端面开口连接，并封闭第一端面开口；其中，相邻的子侧板之间可拆卸连接，使得侧板组件的所有子侧板在拆分状态下能够相互分离。采用这种结构，在制造内炉管组件时，只需要生产工艺上制作简单的子侧板和层板，即可以组装成内炉管组件，降低了内炉管组件的制造难度。