腔体炉门密封结构和晶体生长设备

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广州海创产业技术研究院取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型公开腔体炉门密封结构和晶体生长设备，涉及半导体制备技术领域。腔体炉门密封结构应用于炉室门本体，炉室门本体具有安装面，腔体炉门密封结构包括密封圈和若干个夹板段，密封圈呈闭环状，密封圈的下侧部贴合于安装面上，密封圈的上侧部用于贴合晶体生长炉室的门框；夹板段连接于安装面上并沿密封圈的走向延伸设置；每一夹板段包括分设于密封圈外侧和密封圈内侧的两个夹板体，每一夹板体朝向密封圈的一侧具有沿第一路径倾斜设置的倾斜部，第一路径包括第一分路径和第二分路径，第一分路径垂直于安装面，第二分路径平行于安装面；倾斜部的顶部抵压于密封圈的上侧部，以将密封圈压合于安装面上。本方案无需开设型槽，加工难度低。