水冷电极法兰和晶体生长设备

摘要文本

广州海创产业技术研究院取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型公开一种水冷电极法兰和晶体生长设备，涉及半导体制备技术领域。水冷电极法兰包括固定法兰、水冷电极本体、弹性组件和端盖，固定法兰的端面开设有若干通孔；水冷电极本体呈管状，水冷电极本体一一对应穿设于通孔中；弹性组件设置于水冷电极本体的外周与通孔的孔壁之间，弹性组件沿通孔的轴向延伸，弹性组件的第一端固定于通孔中，弹性组件在常态下与水冷电极本体的外周之间存在预设间隙；端盖可拆卸地连接于固定法兰的端面上；端盖用于挤压弹性组件的第二端，以使弹性组件沿径向膨胀并将水冷电极本体与固定法兰锁紧。本方案与现有技术相比，水冷电极本体在未锁紧状态下可相对于固定法兰沿轴向移动和绕轴向转动，降低了装配难度。