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一种用于检验超大口径凸双曲面反射镜的光学系统

申请号: CN201811176449.8
申请人: 中国科学院上海技术物理研究所
更新日期: 2026-03-08

摘要文本

中国科学院上海技术物理研究所取得“一种透气窗帘布”专利技术,本发明公开了一种用于检验超大口径凸双曲面反射镜的光学系统。系统中球面反射镜的球心位于待检凸双曲面反射镜的后焦点上,激光干涉仪发出的发散光线,从待检凸双曲面反射镜的中心孔入射,经过补偿透镜组的折射,入射到球面反射镜上;从球面反射镜反射的光线,再经过待检反射镜的反射,沿法线方向再次入射到球面反射镜上,并自准反射,按原路返回干涉仪。本发明的光学系统可以实现口径600mm及以上的超大口径凸双曲面反射镜的高精度检验,在保证检验精度的同时,可以减小辅助面的口径以及系统的长度。 搜索专利查询网

专利主权项内容

1.一种用于检验超大口径凸双曲面反射镜的光学系统,由激光干涉仪(1),补偿透镜组(2),待检凸双曲面反射镜,球面反射镜(3)组成,其特征在于:所述的球面反射镜(3)的球心位于待检凸双曲面反射镜的后焦点上,激光干涉仪(1)发出的发散光线,从待检凸双曲面反射镜的中心孔入射,经过补偿透镜组(2)的折射,入射到球面反射镜(3)上;从球面反射镜(3)反射的光线,再经过待检凸双曲面反射镜的反射,沿法线方向再次入射到球面反射镜(3)上,并自准反射,按原路返回干涉仪;所述的球面反射镜(3)的口径与待检凸双曲面反射镜口径的比值不超过2;所述的透镜组(2)的口径与待检凸双曲面反射镜的口径比值不超过0.1。

专利申请信息

项目 内容
专利名称 一种用于检验超大口径凸双曲面反射镜的光学系统
专利类型 发明授权
申请号 CN201811176449.8
申请日 2018年10月10日
公告号 CN109253864B
公开日 2024年3月22日
IPC主分类号 G01M11/00
权利人 中国科学院上海技术物理研究所
发明人 赵鹏玮; 郑列华; 张金平
地址 上海市虹口区玉田路500号