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一种PVD产线的追片设备
摘要文本
捷造科技(宁波)有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型公开了一种PVD产线的追片设备，包括：进片室，所述进片室连接加热室，在所述进片室与所述加热室之间设置第一门阀，所述加热室连接缓冲室，在所述加热室与所述缓冲室之间连接第二门阀，所述缓冲室连接追片单元，所述追片单元连接工艺室，所述追片单元至少设置两个传感器，本实用新型的优点是：提高追片功能，使腔室内的载板间距控制在5‑10mm之间。缩短了镀膜时间，提高生产效率，减少附着在腔室内壁的靶材，减轻了对腔室的污染，降低了腔室清洗难度，延长了清洗周期，提高了生产效率。
专利主权项内容
1.一种PVD产线的追片设备，其特征在于，包括：进片室，所述进片室连接加热室，在所述进片室与所述加热室之间设置第一门阀，所述加热室连接缓冲室，在所述加热室与所述缓冲室之间连接第二门阀，所述缓冲室连接追片单元，所述追片单元连接工艺室，各腔室利用伺服电机传送载板行进，其中，所述进片室、加热室和缓冲室这三个腔室内分别安装A、B、C三个传感器，A传感器安装于所在腔室内前端，用于检测载板开始进入本工位，B传感器安装于所在腔室内后端，用于检测载板完全进入本工位，C传感器安装于所在腔室内尾端，用于检测载板开始离开本工位，所述追片单元至少设置D、E两个传感器，其中，D传感器位于追片单元的前端，E传感器位于追片单元的尾端，所述D、E两个传感器之间的距离为追片距离。。（） （来 自 ）
专利申请信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种PVD产线的追片设备 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420283887.9 |
| 申请日 | 2024/2/6 |
| 公告号 | CN222064655U |
| 公开日 | 2024/11/26 |
| IPC主分类号 | C23C14/50 |
| 权利人 | 捷造科技(宁波)有限公司 |
| 发明人 | 刘书龙; 马峥 |
| 地址 | 浙江省宁波市宁海县桃源街道南岙路12号南岙高新产业园10号楼 |