一种立式扩散炉气体循环装置
申请人信息
- 申请人:潍坊芯微电子设备有限公司
- 申请人地址:262700 山东省潍坊市寿光市洛城街道茂昌街308号
- 发明人: 潍坊芯微电子设备有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种立式扩散炉气体循环装置 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420496957.9 |
| 申请日 | 2024/3/14 |
| 公告号 | CN222069230U |
| 公开日 | 2024/11/26 |
| IPC主分类号 | F27B1/28 |
| 权利人 | 潍坊芯微电子设备有限公司 |
| 发明人 | 蔡宗捷; 朱滨泉; 苏新巍 |
| 地址 | 山东省潍坊市寿光市洛城街道茂昌街308号 |
摘要文本
本实用新型公开了一种立式扩散炉气体循环装置，其包括炉体，所述炉体的一侧固定安装有固定架，所述炉体通过固定架固定安装有过滤箱，所述炉体的一侧固定穿插安装有进气管。该一种立式扩散炉气体循环装置，本实用新型通过炉体、过滤箱、风机、过滤芯、T形隔板、风量传感器、汇集管、U形管、电子阀门、三通连接头、导管、进气管、固定架、警报器、控制器和密封板的配合使用，位于汇集管端口处的风量传感器对汇集管的出风量进行监测，当出风量小于一定的值时，控制器会立即控制原本处于打开状态的电子阀门关闭，原本处于关闭状态的电子阀门打开，这样循环的气体就会更换一条通道，实现无缝衔接继续循环过滤。
专利主权项内容
1.一种立式扩散炉气体循环装置，其特征在于，其包括：
炉体(1)，所述炉体(1)的一侧固定安装有固定架(13)，所述炉体(1)通过固定架(13)固定安装有过滤箱(2)，所述炉体(1)的一侧固定穿插安装有进气管(12)，所述过滤箱(2)的一侧固定穿插安装有对称分布的导管(11)，两个所述导管(11)上均设置有电子阀门(9)，两个所述导管(11)的一端固定安装有三通连接头(10)，所述三通连接头(10)的一端与进气管(12)固定连接，所述三通连接头(10)与进气管(12)的内部相连通；
所述过滤箱(2)的内部固定安装有T形隔板(5)，所述T形隔板(5)的一侧固定穿插安装有U形管(8)，所述U形管(8)上固定安装有汇集管(7)，且汇集管(7)与U形管(8)的内部相连通，所述过滤箱(2)顶部的一侧固定安装有风机(3)，且风机(3)的输入端贯穿过滤箱(2)顶部的一侧并与过滤箱(2)的内部相连通，所述过滤箱(2)正面的一侧开设有对称分布的插槽(18)，所述过滤箱(2)通过插槽(18)活动插接有过滤芯(4)，两个所述插槽(18)的正面均卡接有密封板(16)。 百度搜索