一种组合针卡及测试装置

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吉林华微电子股份有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本申请公开了一种组合针卡及测试装置，涉及探针技术领域，用于解决现有技术中探针不便于从固定杆上拆卸下来，从而不便于探针的更换或维护的技术问题。所述组合针卡包括针卡单元，所述针卡单元包括探针臂、探针和固定件，所述探针臂上开有相互连通的安装孔和固定孔，所述探针穿过所述安装孔并设置在所述探针臂上，所述固定件与所述固定孔可拆卸连接，至少部分所述固定件位于所述固定孔内并抵紧所述探针，以将所述探针固定在所述探针臂上。本申请可以更容易将探针从探针臂上拆卸下来，从而更容易更换或维修探针，进而可以提高对硅片的测试效率。