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一种载片模块和涂胶显影设备
申请人信息
- 申请人:沈阳芯源微电子设备股份有限公司
- 申请人地址:110180 辽宁省沈阳市浑南区飞云路16号
- 发明人: 沈阳芯源微电子设备股份有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种载片模块和涂胶显影设备 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202323670052.3 |
| 申请日 | 2023/12/29 |
| 公告号 | CN222071047U |
| 公开日 | 2024/11/26 |
| IPC主分类号 | G03F7/20 |
| 权利人 | 沈阳芯源微电子设备股份有限公司 |
| 发明人 | 张建; 王超群; 陈兴隆 |
| 地址 | 辽宁省沈阳市浑南区飞云路16号 |
摘要文本
沈阳芯源微电子设备股份有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型涉及半导体制造设备领域，提供了一种载片模块和涂胶显影设备，一种载片模块，包括：架体，包括背面板和垂直于所述背面板相对设置的两个安装板，所述背面板在两个所述安装板之间设有维护通道，所述架体上还设有多个支撑架；以及载片单元，多个所述载片单元沿竖直方向设置于两个所述安装板之间，且所述载片单元能够移动至所述支撑架上，所述载片单元被配置于承载多个晶圆，本实用新型中的载片模块的多个载片单元设置在架体上，维护人员需要进行维护时，可以将载片单元移动至附近的支撑架上，然后穿过载片单元移动后空出的维护通道，进入工艺模块对其进行维护，待维护结束，再将载片单元放回至架体上即可。 微信公众号
专利主权项内容
1.一种载片模块，设置于工艺模块的一侧并被配置于对晶圆进行工艺处理前或工艺处理后放置所述晶圆，其特征在于，包括：
架体，包括背面板和垂直于所述背面板相对设置的两个安装板，所述背面板在两个所述安装板之间设有维护通道，所述架体上还设有多个支撑架；以及
载片单元，多个所述载片单元沿竖直方向设置于两个所述安装板之间，且所述载片单元能够移动至所述支撑架上，所述载片单元被配置于承载多个所述晶圆。