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一种涂胶显影设备
申请人信息
- 申请人:沈阳芯源微电子设备股份有限公司
- 申请人地址:110180 辽宁省沈阳市浑南区飞云路16号
- 发明人: 沈阳芯源微电子设备股份有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种涂胶显影设备 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202323670306.1 |
| 申请日 | 2023/12/29 |
| 公告号 | CN222071048U |
| 公开日 | 2024/11/26 |
| IPC主分类号 | G03F7/20 |
| 权利人 | 沈阳芯源微电子设备股份有限公司 |
| 发明人 | 王超群; 张建; 陈兴隆 |
| 地址 | 辽宁省沈阳市浑南区飞云路16号 |
摘要文本
沈阳芯源微电子设备股份有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型涉及半导体制造设备领域，提供了一种涂胶显影设备，所述涂胶显影设备包括：片盒用于存储晶圆；穿墙式载片单元包括底板和设置在底板上的载片单元，载片单元被配置于同时承载多个晶圆；晶圆机械手包括竖直设置的多个晶圆手指，每个晶圆手指用于承载一个晶圆；层间机械手被配置于能够对穿墙单元组或载片单元逐片取放晶圆；穿墙单元组设置于层间机械手一侧；工艺模块用于对晶圆进行工艺处理，本实用新型设置了能够一次性取放所有晶圆的晶圆机械手，同时穿墙式载片单元可以将取出的所有晶圆在晶圆机械手和层间机械手之间进行移动，向后传递，省去了原有结构中晶圆逐片移动所需的时间。
专利主权项内容
1.一种涂胶显影设备，其特征在于，包括片盒、穿墙式载片单元、晶圆机械手、层间机械手、穿墙单元组以及工艺模块，其中：
所述片盒用于存储晶圆；
所述穿墙式载片单元设置于所述片盒的一侧并被配置于在对所述晶圆进行工艺处理前或工艺处理后传递所述晶圆，包括底板和设置在所述底板上的载片单元，所述载片单元被配置于同时承载多个晶圆并能够在所述底板上相对的第一位置和第二位置间移动；
所述晶圆机械手设置于所述底板上所述第一位置的一侧，包括竖直设置的多个晶圆手指，每个所述晶圆手指用于承载一个所述晶圆，所述晶圆机械手被配置于能够对所述片盒或所述第一位置上的所述载片单元同时取放多个所述晶圆；
所述层间机械手设置于所述底板上所述第二位置的一侧并被配置于能够对所述穿墙单元组或所述第二位置上的所述载片单元逐片取放所述晶圆；
所述穿墙单元组设置于所述层间机械手一侧并被配置于将所述晶圆在所述层间机械手和所述工艺模块之间移动；
所述工艺模块用于对晶圆进行工艺处理。