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一种半自动显影装置
申请人信息
- 申请人:苏州皓申智能科技有限公司
- 申请人地址:215101 江苏省苏州市中国(江苏)自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区兴浦路200号11幢402室
- 发明人: 苏州皓申智能科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种半自动显影装置 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420600950.7 |
| 申请日 | 2024/3/27 |
| 公告号 | CN222071053U |
| 公开日 | 2024/11/26 |
| IPC主分类号 | G03F7/30 |
| 权利人 | 苏州皓申智能科技有限公司 |
| 发明人 | 吴廷斌; 杨欣; 苏丰 |
| 地址 | 江苏省苏州市中国(江苏)自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区兴浦路200号11幢402室 |
摘要文本
苏州皓申智能科技有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型涉及半导体设备技术领域，具体涉及一种半自动显影装置，包括工作台，所述工作台上的开槽内滑动连接有显影柜，所述显影柜内设有用于装载显影液的显影槽，所述工作台上还连接有驱动机构，所述驱动机构包括固定连接于工作台上的驱动源，所述驱动源输出端上固定连接有转盘，所述转盘上设有调节机构，所述工作台上与显影柜相对的一面上固定设有多个弹簧，所述转盘带动调节机构转动，所述显影柜在转盘和弹簧的共同作用下，沿工作台做往复直线运动。通过设置的驱动机构，驱动源带动转盘转动，从而使得显影柜内的显影液来回移动，晶圆表面的光刻胶与显影液反应，并且带走反应后的显影液，使得晶圆上的光刻胶完全反应。。来源：百度搜索
专利主权项内容
1.一种半自动显影装置，包括工作台(1)，其特征在于：所述工作台(1)上的开槽内滑动连接有显影柜(2)，所述显影柜(2)内设有用于装载显影液的显影槽(21)，所述工作台(1)上还连接有驱动机构，所述驱动机构包括固定连接于工作台(1)上的驱动源(3)，所述驱动源(3)输出端上固定连接有转盘(31)，所述转盘(31)上设有调节机构(32)，所述工作台(1)上与显影柜(2)相对的一面上固定设有多个弹簧(11)，所述转盘(31)带动调节机构(32)转动，所述显影柜(2)在转盘(31)和弹簧(11)的共同作用下，沿工作台(1)做往复直线运动。