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一种光刻机上版架

申请号: CN202420681755.1
申请人: 上海亚曼光电科技有限公司
更新日期: 2026-04-22

专利详细信息

项目 内容
专利名称 一种光刻机上版架
专利类型 实用新型
申请号 CN202420681755.1
申请日 2024/4/3
公告号 CN222071050U
公开日 2024/11/26
IPC主分类号 G03F7/20
权利人 上海亚曼光电科技有限公司
发明人 谢红; 谢丁生; 吕学飞; 王韶华; 晏建发; 赵振浩; 谢和
地址 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区环湖西二路888号C楼

摘要文本

上海亚曼光电科技有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术,本实用新型涉及光刻机上版架领域,尤其涉及一种光刻机上版架。包括两个滑动组件和调节结构,所述滑动组件的表面安装有移动组件,两个所述移动组件相互靠近的一侧安装有升降组件,所述升降组件远离移动组件的一侧安装有连接框,两个所述滑动组件两侧的下端均设置有长杆,所述长杆借助调节结构与滑动组件进行连接,所述连接框的下表面设有顶起结构,所述顶起结构包括固定板,所述固定板与连接框固定连接,所述固定板远离移动组件的一侧固定连接有固定杆,所述固定杆的上表面固定连接有液压杆,所述液压杆的输出端固定连接有顶板。本实用新型提供的一种光刻机上版架具有可以方便将加工后的板材顶起,方便操作人员对板材进行搬运的优点。

专利主权项内容

() (来 自 ) 1.一种光刻机上版架,其特征在于,包括:两个滑动组件(1)和调节结构(6),所述滑动组件(1)的表面安装有移动组件(2),两个所述移动组件(2)相互靠近的一侧安装有升降组件(3),所述升降组件(3)远离移动组件(2)的一侧安装有连接框(4),两个所述滑动组件(1)两侧的下端均设置有长杆(7),所述长杆(7)借助调节结构(6)与滑动组件(1)进行连接,所述连接框(4)的下表面设有顶起结构(5),所述顶起结构(5)包括固定板(505),所述固定板(505)与连接框(4)固定连接,所述固定板(505)远离移动组件(2)的一侧固定连接有固定杆(504),所述固定杆(504)的上表面固定连接有液压杆(509),所述液压杆(509)的输出端固定连接有顶板(506),所述液压杆(509)的圆弧面安装有信号接收器(508),所述滑动组件(1)的一侧安装有连接杆(501),所述连接杆(501)远离滑动组件(1)的一端固定连接有激光发射器(502),所述固定板(505)靠近激光发射器(502)的一侧安装有信息传递器(503)。