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一种光刻机版盒定位锁紧装置
申请人信息
- 申请人:上海亚曼光电科技有限公司
- 申请人地址:201306 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区环湖西二路888号C楼
- 发明人: 上海亚曼光电科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种光刻机版盒定位锁紧装置 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420681258.1 |
| 申请日 | 2024/4/3 |
| 公告号 | CN222071049U |
| 公开日 | 2024/11/26 |
| IPC主分类号 | G03F7/20 |
| 权利人 | 上海亚曼光电科技有限公司 |
| 发明人 | 谢红; 谢丁生; 吕学飞; 王韶华; 晏建发; 赵振浩; 谢和 |
| 地址 | 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区环湖西二路888号C楼 |
摘要文本
上海亚曼光电科技有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型涉及光刻机技术领域，尤其涉及一种光刻机版盒定位锁紧装置。包括机座，所述机座的表面设置有版盒主体，所述机座两端表面对应版盒主体的位置均设有调节装置，所述调节装置包括两个固定板，两个所述固定板彼此靠近的一侧转动连接有同一个驱动杆，所述驱动杆的圆弧面开设有螺纹方向相反的螺纹，所述驱动杆的圆弧面两端均螺纹连接有转动环，所述转动环的表面均转动连接有连接板，所述连接板远离转动环的一端转动连接有挤压块，所述机座表面对应挤压块的位置固定连接有定位块。本实用新型提供的一种光刻机版盒定位锁紧装置具有方便快捷地对版盒位置进行挤压限位，避免版盒发生松动偏移的情况出现。
专利主权项内容
1.一种光刻机版盒定位锁紧装置，其特征在于，包括：机座(2)，所述机座(2)的表面设置有版盒主体(1)，所述机座(2)两端表面对应版盒主体(1)的位置均设有调节装置(4)，所述调节装置(4)包括两个固定板(401)，两个所述固定板(401)彼此靠近的一侧转动连接有同一个驱动杆(402)，所述驱动杆(402)的圆弧面开设有螺纹方向相反的螺纹，所述驱动杆(402)的圆弧面两端均螺纹连接有转动环(403)，所述转动环(403)的表面均转动连接有连接板(405)，所述连接板(405)远离转动环(403)的一端转动连接有挤压块(406)，所述机座(2)表面对应挤压块(406)的位置固定连接有定位块(404)，所述定位块(404)两侧表面均开设有滑槽(410)，所述滑槽(410)的内壁表面与挤压块(406)的表面滑动连接。