一种光刻机投影物镜安装调平装置
申请人信息
- 申请人:上海亚曼光电科技有限公司
- 申请人地址:201306 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区环湖西二路888号C楼
- 发明人: 上海亚曼光电科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种光刻机投影物镜安装调平装置 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420682045.0 |
| 申请日 | 2024/4/3 |
| 公告号 | CN222071054U |
| 公开日 | 2024/11/26 |
| IPC主分类号 | G03F9/00 |
| 权利人 | 上海亚曼光电科技有限公司 |
| 发明人 | 谢红; 谢丁生; 吕学飞; 王韶华; 晏建发; 赵振浩; 谢和 |
| 地址 | 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区环湖西二路888号C楼 |
摘要文本
上海亚曼光电科技有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型涉及光刻机投影物镜调平领域，尤其涉及一种光刻机投影物镜安装调平装置。包括机体和连接结构，所述机体的一侧设置有底板，所述底板借助连接结构与机体进行连接，所述底板的上表面安装有移动组件，所述移动组件的一端安装有加工物镜，所述底板的一端设有辅助结构，所述辅助结构包括两个滑槽，两个所述滑槽开设在底板上，所述滑槽的内壁滑动连接有滑块，所述滑槽的内部转动连接有丝杆，所述丝杆与滑块螺纹连接，所述丝杆远离滑槽的一端固定连接有把杆，所述滑块的上表面固定连接有连接杆，本实用新型提供的一种光刻机投影物镜安装调平装置具有可以方便对光刻机的投影物镜进行调平的优点。
专利主权项内容
1.一种光刻机投影物镜安装调平装置，其特征在于，包括：机体(1)和连接结构(6)，所述机体(1)的一侧设置有底板(4)，所述底板(4)借助连接结构(6)与机体(1)进行连接，所述底板(4)的上表面安装有移动组件(2)，所述移动组件(2)的一端安装有加工物镜(3)，所述底板(4)的一端设有辅助结构(5)，所述辅助结构(5)包括两个滑槽(506)，两个所述滑槽(506)开设在底板(4)上，所述滑槽(506)的内壁滑动连接有滑块(507)，所述滑槽(506)的内部转动连接有丝杆(510)，所述丝杆(510)与滑块(507)螺纹连接，所述丝杆(510)远离滑槽(506)的一端固定连接有把杆(511)，所述滑块(507)的上表面固定连接有连接杆(505)，所述连接杆(505)的表面滑动连接有滑板(504)，所述滑板(504)的上表面固定连接有连接板(502)，所述连接板(502)的上端固定连接有卡板(501)，两个所述滑板(504)相互远离的一侧均螺纹连接有螺杆(503)，所述螺杆(503)与连接杆(505)相抵接。