等离子体监测系统

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三星显示有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本申请涉及等离子体监测系统。等离子体监测系统包括：闸阀，设置在室的第一侧上，其中，闸阀与等离子体监测操作配合地打开或关闭；观察口部，设置在室的外部并且包括多个光透射部分；以及光学发射光谱器，设置在室的外部，其中，光学发射光谱器通过接收通过观察口部的多个光透射部分中的至少一个透射的等离子体光来监测等离子体。