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一种槽式清洗机及半导体机台
摘要文本
合肥晶合集成电路股份有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术,本实用新型提供了一种槽式清洗机及半导体机台,包括:化学品槽;循环管,其两端分别与所述化学品槽连通;循环结构,设于所述循环管上;取样管,其进水口连通于所述循环结构的出水口,出水口连通于所述化学品槽;浓度计,设于所述取样管上;以及清洗结构,设于所述取样管上,且与所述浓度计的两端连通。通过本实用新型提供的一种槽式清洗机及半导体机台,能够便于对浓度计进行校正。
专利主权项内容
1.一种槽式清洗机,其特征在于,包括:
化学品槽;
循环管,其两端分别与所述化学品槽连通;
循环结构,设于所述循环管上;
取样管,其进水口连通于所述循环结构的出水口,出水口连通于所述化学品槽;
浓度计,设于所述取样管上;以及
清洗结构,设于所述取样管上,且与所述浓度计的两端连通。。数据由马 克 数 据整理
专利申请信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种槽式清洗机及半导体机台 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202323324980.4 |
| 申请日 | 2023/12/1 |
| 公告号 | CN222071870U |
| 公开日 | 2024/11/26 |
| IPC主分类号 | H01L21/67 |
| 权利人 | 合肥晶合集成电路股份有限公司 |
| 发明人 | 钱爱国; 许忠晖 |
| 地址 | 安徽省合肥市新站区合肥综合保税区内西淝河路88号 |