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一种槽式清洗机及半导体机台

申请号: CN202323324980.4
申请人: 合肥晶合集成电路股份有限公司
更新日期: 2026-04-22

摘要文本

合肥晶合集成电路股份有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术,本实用新型提供了一种槽式清洗机及半导体机台,包括:化学品槽;循环管,其两端分别与所述化学品槽连通;循环结构,设于所述循环管上;取样管,其进水口连通于所述循环结构的出水口,出水口连通于所述化学品槽;浓度计,设于所述取样管上;以及清洗结构,设于所述取样管上,且与所述浓度计的两端连通。通过本实用新型提供的一种槽式清洗机及半导体机台,能够便于对浓度计进行校正。

专利主权项内容

1.一种槽式清洗机,其特征在于,包括:
化学品槽;
循环管,其两端分别与所述化学品槽连通;
循环结构,设于所述循环管上;
取样管,其进水口连通于所述循环结构的出水口,出水口连通于所述化学品槽;
浓度计,设于所述取样管上;以及
清洗结构,设于所述取样管上,且与所述浓度计的两端连通。。数据由马 克 数 据整理

专利申请信息

项目 内容
专利名称 一种槽式清洗机及半导体机台
专利类型 实用新型
申请号 CN202323324980.4
申请日 2023/12/1
公告号 CN222071870U
公开日 2024/11/26
IPC主分类号 H01L21/67
权利人 合肥晶合集成电路股份有限公司
发明人 钱爱国; 许忠晖
地址 安徽省合肥市新站区合肥综合保税区内西淝河路88号