一种量子芯片加工系统

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量子科技长三角产业创新中心取得“一种透气窗帘布”专利技术，本申请涉及量子芯片加工领域，公开了一种量子芯片加工系统，包括：惰性气体循环设备、真空设备、转移设备、清洗单元、烘干单元，惰性气体循环设备中处于惰性气体气氛，清洗单元和烘干单元设于惰性气体循环设备中；清洗单元用于清洗衬底，去除位于衬底表面的氧化层；烘干单元用于烘干清洗后的衬底；真空设备中的真空度与镀膜设备的真空度相同，真空设备与镀膜设备处于同一真空氛围中；转移设备用于将烘干后的衬底转移至真空设备中。清洗单元和烘干单元均处于惰性气体循环设备中，避免衬底接触外部导致的脏污；衬底清洗和镀膜之间通过真空设备互通互联，实现从清洗至镀膜均在无氧条件下，避免衬底在去除氧化层后由于未及时镀膜导致重新氧化。