一种可变间距的晶圆搬运装置

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上海广川科技有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型提供了一种可变间距的晶圆搬运装置，其包括：剪叉架、臂架、直线电机模组、直线导轨，其中所述剪叉架包括：双叉臂、变距架，铰链件，其中变距架上设有变距条孔，所述双叉臂上设有引导件，所述变距架经变距条孔与引导件配接，以在双叉臂上层叠构成多层变距连杆，所述多层变距连杆成对设置，经所述臂架设置在各层变距架上形成桥接，其中直线导轨与直线电机模组的移动方向平行，各双叉臂的连动端，分别与直线电机模组及直线导轨的数个移动端旋转连接。籍此以实现多层晶圆支撑平台间距可调功能，以适配不同规格的晶圆存储设备。 来自