晶圆盒及其限位装置

专利主权项内容

1.一种晶圆盒的限位装置，用于安装在一晶圆盒中，所述晶圆盒包含一底座、一储存框架及一盖体，其特征在于：所述限位装置包括：
一基座，包含一横杆及二延伸臂，所述横杆配置为组合在所述晶圆盒的所述盖体中，所述延伸臂皆自所述横杆沿着远离所述横杆的一方向延伸，而且所述延伸臂之间形成一活动空间；
多个活动板体，所述活动板体配置为在所述活动空间中转动，每一活动板体包含一转轴及一固定杆，所述转轴枢接在所述延伸臂之间；
至少二挡板，所述挡板分别设置在所述延伸臂上，而且所述挡板配置为用以挡止对应的活动板体朝靠近所述横杆的一方向移动；及
一抵靠组件，枢接在所述活动板体的所述固定杆上，所述抵靠组件配置在靠近所述基座的一准备位置，及在远离所述基座的一抵靠位置之间移动，当所述抵靠组件移动至所述抵靠位置时，所述抵靠组件抵靠位于所述储存框架中的晶圆片的边缘。