一种硅片双吸盘带检测及过滤装置

摘要文本

捷造科技(宁波)有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型公开了一种硅片双吸盘带检测及过滤装置，包括：分别左右设置的一个吸盘组件，每个吸盘组件具有吸盘构成方形的吸附区域，在所述吸附区域的下部安装吸盘底部连接板，所述吸盘底部连接板的四周设置至少四个安装孔与四个U型槽，其中，通过所述四个安装孔连接竖直的四根螺栓的一端，四根螺栓的另一端再连接X型吸盘连接板，左右吸盘底部连接板通过U型槽对接中间设置的双吸盘组件连接板以构成一个整体，在两个吸盘连接板的上面再设置一个负压气管真空过滤器，本实用新型的优点是：现了双真空吸盘能够对双片硅片同时进行吸附夹紧，硅片到位检测，提高了生产效率的同时提高了成品率。