一种具有防护功能的晶圆上料机构

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鸿盛芯创半导体设备(昆山)有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型公开了一种具有防护功能的晶圆上料机构，包括一号驱动组件、二号驱动组件和取料组件，所述二号驱动组件设置于一号驱动组件一侧，所述取料组件设置于二号驱动组件一侧，所述取料组件包括装载板，所述装载板顶部中间安装有气路对接管，所述装载板底部固定连接有伸缩杆，所述伸缩杆底端安装有真空吸盘，所述伸缩杆外侧套接有缓冲弹簧，所述缓冲弹簧一端与装载板相抵，所述缓冲弹簧另一端与真空吸盘相抵，所述气路对接管与真空吸盘之间通过导气软管进行连接。本实用新型通过将真空吸盘设置在装载板的底部边缘四角，实现对晶圆载具的多点式吸附固定，有利于提高搬运时的稳定性，不易发生晃动，从而避免放置位置出现偏差。