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一种涂胶显影机及其涂胶机构

申请号: CN202420997734.0
申请人: 南方华创半导体(无锡)有限公司
更新日期: 2026-04-25

专利详细信息

项目 内容
专利名称 一种涂胶显影机及其涂胶机构
专利类型 实用新型
申请号 CN202420997734.0
申请日 2024/5/9
公告号 CN222281044U
公开日 2024/12/31
IPC主分类号 G03F7/16
权利人 南方华创半导体(无锡)有限公司
发明人 张军区; 叶挺
地址 江苏省无锡市滨湖区锦溪路99号江大科技园3号楼102-54室

摘要文本

南方华创半导体(无锡)有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术,本实用新型提供了一种涂胶显影机及其涂胶机构,包括涂胶仓、工作台,所述涂胶仓呈圆台状设立于工作台上,所述涂胶仓包含进胶管道、涂胶头、作业腔,所述进胶管道设有两个,并且呈对称结构分布在涂胶头的两侧,所述涂胶头悬空于作业腔底部中央位置,所述作业腔为圆台状腔体,通过击打块作用到存胶槽底部,使其发生震动,使得胶液中的气泡向上移动,借助带有一定温度的针杆将胶液中的气泡消除,有效防止气泡直接进入到输液管中,从而提高涂胶作业的质量。 www.

专利主权项内容

1.一种涂胶机构,其特征在于:包括涂胶仓(1)、工作台,
所述涂胶仓(1)呈圆台状设立于工作台上;
所述涂胶仓(1)包含进胶管道(81)、涂胶头(84)、作业腔(83),所述进胶管道(81)设有两个,并且呈对称结构分布在涂胶头(84)的两侧,所述涂胶头(84)悬空于作业腔(83)底部中央位置,所述作业腔(83)为圆台状腔体,
所述涂胶仓(1)还包含转存仓(82),所述转存仓(82)位于作业腔(83)的顶部中间位置,所述转存仓(82)与两个进胶管道(81)相通,
所述转存仓(82)为开口向上的半球状腔体,并且顶部与涂胶仓(1)的内壁相连形成闭环。