一种光刻机的镜头保护装置

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河南雷神光电技术有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型涉及光刻机技术领域，尤其涉及一种光刻机的镜头保护装置；技术问题：在光刻机进行工作时所使用的激光会产生高温，物镜内部温度会随曝光时间而变化，同时，长期使用时，物镜镜头被污染表面会产生结晶物的现象，传统的镜头保护装置不便于降低镜头温度，不能很好的避免物镜镜头表面会产生结晶物的现象；技术方案：一种光刻机的镜头保护装置，包括有主体安装块、镜头组件、固定组件、输气组件、储气组件、连接组件和喷气组件；本实用新型通过设置降温结构，在光刻机长时间工作导致镜头过热，物镜镜头被污染表面产生结晶物时，通过喷出冷气对镜头进行降温，并将结晶物吹散，从而达到保护光刻机镜头，减少对光刻机镜头的损伤的目的。