一种腔内冷却等离子处理腔结构

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深圳市奥普斯等离子体科技有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型涉及一种腔内冷却等离子处理腔结构，包括等离子处理腔，设置于等离子处理的机体上；冷却腔，位于等离子处理腔的外壁与等离子处理腔机体之间，用于冷却介质的流通，使得冷却介质与等离子处理腔形成换热的作用；冷却组件，包括注入设备及储存设备；其中，注入设备安装于等离子处理腔顶侧的机体内，且与冷却腔连通，用于冷却介质的注入；储存设备安装于等离子处理腔底侧的机体内，且通过设置的流通连接件与冷却腔内部连通。本结构通过等离子处理腔与机体之间设置的供冷却介质流通的冷却腔，利用冷却介质在等离子处理腔外表面进行流通，利用换热的形式将腔体的热量进行转移，从而有效的实现对腔体的快速冷却。