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压杆结构、料盒定位工装、晶圆载入设备及料盒加载装置
摘要文本
长川科技(苏州)有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本申请涉及晶圆检测技术领域，提供了一种压杆结构、料盒定位工装、晶圆载入设备及料盒加载装置。该压杆结构包括导向杆、顶触杆、触发杆和连动压杆；导向杆、顶触杆和触发杆均连接于连动压杆，并沿第一方向间隔布置，且导向杆和触发杆分设于顶触杆沿第一方向的两侧；顶触杆具有用于料盒压设的顶触端；顶触杆被配置为响应于料盒的压设而沿第二方向移动，以通过连动压杆带动触发杆和导向杆同步移动，触发杆用于触发传感器。本申请提供的压杆结构压杆结构，结构可靠性高，不易发生磨损，适用于长期使用。
专利主权项内容
1.一种压杆结构，其特征在于，用于料盒(200)到位检测，所述压杆结构(10)包括导向杆(11)、顶触杆(12)、触发杆(13)和连动压杆(14)；
所述导向杆(11)、所述顶触杆(12)和所述触发杆(13)均连接于所述连动压杆(14)，并沿第一方向间隔布置，且所述导向杆(11)和所述触发杆(13)分设于所述顶触杆(12)沿第一方向的两侧；所述顶触杆(12)具有用于料盒(200)压设的顶触端(1201)；
所述顶触杆(12)被配置为响应于所述料盒(200)的压设而沿第二方向移动，以通过所述连动压杆(14)带动所述触发杆(13)和所述导向杆(11)同步移动，所述触发杆(13)用于触发传感器；其中，所述第二方向与所述第一方向成角度设置。
专利申请信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 压杆结构、料盒定位工装、晶圆载入设备及料盒加载装置 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420646389.6 |
| 申请日 | 2024/3/29 |
| 公告号 | CN222281938U |
| 公开日 | 2024/12/31 |
| IPC主分类号 | H01L21/67 |
| 权利人 | 长川科技(苏州)有限公司 |
| 发明人 | 徐益飞; 侯魁; 杜振东; 吴灿; 雷传; 李佳美 |
| 地址 | 江苏省苏州市苏州工业园区金鸡湖大道88号人工智能产业园内E2E3-301单元 |