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一种硅片承载装置

申请号: CN202323496365.1
申请人: 无锡市南亚科技有限公司
更新日期: 2026-04-25

摘要文本

无锡市南亚科技有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术,本实用新型涉及一种硅片承载装置,包括两处相对设置的端板,两处端板之间通过框架杆连接,端板上部设有对称设置的夹杆槽,端板下部设有对称设置的托杆槽,上夹杆两侧在夹杆槽中滑动,下托杆两侧在托杆槽中滑动;下托杆端部铰接过渡杆下端,过渡杆上端铰接滑板中部,滑板竖直滑动安装在端板上;滑板上安装支撑脚,夹杆槽由上至下向内缩,托杆槽由上至下向外扩。本实用新型有效防止搬运过程中硅片碎裂;当硅片进入插片状态时承载器又具有可脱离硅片之功能。

专利主权项内容

1.一种硅片承载装置,包括两处相对设置的端板(9),两处端板(9)之间通过框架杆(10)连接,其特征在于,端板(9)上部设有对称设置的夹杆槽(8),端板(9)下部设有对称设置的托杆槽(11),上夹杆(1)两侧在夹杆槽(8)中滑动,下托杆(2)两侧在托杆槽(11)中滑动;下托杆(2)端部铰接过渡杆(12)下端,过渡杆(12)上端铰接滑板(5)中部,滑板(5)竖直滑动安装在端板(9)上;滑板(5)上安装支撑脚(7)。

专利申请信息

项目 内容
专利名称 一种硅片承载装置
专利类型 实用新型
申请号 CN202323496365.1
申请日 2023/12/21
公告号 CN222281949U
公开日 2024/12/31
IPC主分类号 H01L21/673
权利人 无锡市南亚科技有限公司
发明人 顾韻; 陆宇
地址 江苏省无锡市滨湖区立业路2号