调平装置及键合设备

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上海光键半导体设备有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，（来 自 ） 本实用新型提供了一种调平装置及键合设备，属于半导体领域。该调平装置包括工作台；键合平台，配置于所述工作台的表面；多个固定部，连接至所述键合平台，且多个所述固定部沿所述键合平台的周向布置；调节部，沿纵向方向贯穿所述固定部，并与所述工作台转动连接，其中，转动所述调节部，以带动所述固定部沿其纵向方向运动，从而对所述键合平台的水平度进行调节。本实用新型通过在固定部设置调节部，当需要调整键合平台的水平度时，转动调节部，能够带动固定部沿纵向方向运动，固定部带动键合平台的一侧向上或者向下移动，从而调节键合平台的水平度。该调平装置，不仅操作简便，缩短了调平时间，调整效率提高，提高了工作效率，而且还进一步提高了调节的精度。