晶圆输送机构

专利主权项内容

1.晶圆输送机构，其特征在于，包括：
固定座(100)，所述固定座(100)上设置有第一弧形通槽(110)；
气缸(200)，所述气缸(200)设置在所述固定座(100)上，且所述气缸(200)的输出端连接有转轴(300)，所述转轴(300)穿过所述固定座(100)的一端连接有转盘(400)，以使所述转轴(300)能够带动所述转盘(400)转动；
机械手(10)，所述机械手(10)设置在所述转盘(400)上，所述机械手(10)用于夹持并转运晶圆；
第一限位件(500)，所述第一限位件(500)的一端与所述转盘(400)连接，另一端穿过所述第一弧形通槽(110)并位于所述固定座(100)的一侧；所述转盘(400)能够带动所述第一限位件(500)沿所述第一弧形通槽(110)转动；
第二限位件(600)，所述第二限位件(600)设置在所述固定座(100)上，所述第二限位件(600)被配置为对所述第一限位件(500)进行限位。