一种用于硅片取放的吸盘装置

摘要文本

湖南红太阳光电科技有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型公开了一种用于硅片取放的吸盘装置，若干片吸盘锁紧固定在安装支架底部，以形成吸盘阵列，相邻两片吸盘相互平行且间隔一定距离，以形成位于两者之间的吸取空间；第一汇流管组件和第二汇流管组件分别设置在安装支架顶部相对的两侧，且分别独立运行，第一汇流管组件与位于吸盘阵列内侧的多片吸盘连接，第二汇流管组件与位于吸盘阵列两侧部的多片吸盘连接，第一汇流管组件和第二汇流管组件用于带动若干片吸盘分组吸取硅片。本实用新型具有结构紧凑、装调便捷、使用灵活性高且能够实现多种规格的石墨舟进行自动装卸片等优点，弥补了现有技术无法自动实现同时对多种规格的石墨舟进行装卸片的不足。