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执行层压工艺的设备
申请人信息
- 申请人:台湾积体电路制造股份有限公司
- 申请人地址:中国台湾新竹科学工业园区新竹市力行六路八号
- 发明人: 台湾积体电路制造股份有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 执行层压工艺的设备 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420264751.3 |
| 申请日 | 2024/2/2 |
| 公告号 | CN222051703U |
| 公开日 | 2024/11/22 |
| IPC主分类号 | H01L21/67 |
| 权利人 | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 发明人 | 邱于庭; 黄英叡; 黄见翎; 谢静华 |
| 地址 | 中国台湾新竹市新竹科学工业园区力行六路八号 |
摘要文本
台湾积体电路制造股份有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型实施例公开一种执行层压工艺的设备。所述设备包括工艺腔包括上腔室、下腔室，以及所述上腔室与所述下腔室之间的内部空间。所述下腔室可操作以支撑衬底，且所述上腔室可操作以承载将被层压在所述衬底上的工艺薄膜。所述设备还包括配置于所述工艺腔的所述上腔室的保护薄膜，所述工艺薄膜与所述保护薄膜的平坦光滑的表面贴合。
专利主权项内容
1.一种执行层压工艺的设备，其特征在于，包括：
工艺腔，包括上腔室、下腔室，以及所述上腔室与所述下腔室之间的内部空间，所述下腔室可操作以支撑衬底，且所述上腔室可操作以承载将被层压在所述衬底上的工艺薄膜；以及
保护薄膜，配置于所述工艺腔的所述上腔室，其中所述工艺薄膜黏附在所述保护薄膜的平坦光滑的表面上。