一种半导体晶圆片平面测量仪
申请人信息
- 申请人:苏州普瑞斯通智能科技有限公司
- 申请人地址:215000 江苏省苏州市昆山市周市镇黄浦江北路511号12栋
- 发明人: 苏州普瑞斯通智能科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种半导体晶圆片平面测量仪 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420519110.8 |
| 申请日 | 2024/3/18 |
| 公告号 | CN222051708U |
| 公开日 | 2024/11/22 |
| IPC主分类号 | H01L21/67 |
| 权利人 | 苏州普瑞斯通智能科技有限公司 |
| 发明人 | 沈军 |
| 地址 | 江苏省苏州市昆山市周市镇黄浦江北路511号12栋 |
摘要文本
苏州普瑞斯通智能科技有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型属于测量仪领域，具体涉及一种半导体晶圆片平面测量仪，解决了现有技术中存在稳定性差和实用性差的问题，包括底座，所述底座的顶部分别通过螺丝固定连接有立板、两个对称布置的加强筋以及安装座，两个所述加强筋的一侧同时和所述立板的一侧固定连接，所述安装座的底部通过螺丝固定连接有壳体，所述壳体的内部固定设置有定位装置，所述定位装置包括转盘和四个圆周均布的移动块，所述壳体的一侧安装有电机，通过电机和蜗杆等结构的设置，使用时，将半导体晶圆片放置在防滑垫上，启动电机，电机带动蜗杆转动，从而同时带动四个定位块对半导体晶圆片进行四面夹持，提升夹持的稳定性，便于后续的检测工作。
专利主权项内容
1.一种半导体晶圆片平面测量仪，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的顶部分别通过螺丝固定连接有立板(2)、两个对称布置的加强筋(3)以及安装座(4)，两个所述加强筋(3)的一侧同时和所述立板(2)的一侧固定连接，所述安装座(4)的底部通过螺丝固定连接有壳体(5)，所述壳体(5)的内部固定设置有定位装置；
所述定位装置包括转盘(11)和四个圆周均布的移动块(14)，所述壳体(5)的一侧安装有电机(6)，所述电机(6)的输出端通过联轴器固定连接有同轴设置的蜗杆(8)，所述壳体(5)的内部通过螺丝固定连接有两个对称布置的固定块(7)，所述蜗杆(8)同时转动安装在两个所述固定块(7)的内部，所述壳体(5)的内部转动安装有转块(9)，所述转块(9)的顶部通过螺丝固定连接有异形蜗轮(10)，所述蜗杆(8)和所述异形蜗轮(10)啮合连接，所述异形蜗轮(10)的内部固定嵌套有转杆(19)，所述转杆(19)固定嵌套在所述转盘(11)的内部，所述转盘(11)的内部滑动装配有四个圆周均布的移动杆(18)，所述壳体(5)的顶部通过螺丝固定连接有四个圆周均布的梯形条(13)，所述梯形条(13)滑动装配在所述移动块(14)的内部，所述移动块(14)的顶部通过螺丝固定连接有连接板(15)，所述连接板(15)的一侧通过螺丝固定连接有定位块(16)，所述定位块(16)的一侧粘接有橡胶垫(17)，所述移动杆(18)的顶部和所述连接板(15)的底部固定连接，所述转盘(11)的顶部粘接有防滑垫(20)。