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一种固晶机的晶圆托盘夹具
申请人信息
- 申请人:深圳市金中环半导体有限公司
- 申请人地址:518000 广东省深圳市龙华区大浪街道水围社区华旺路279号1层
- 发明人: 深圳市金中环半导体有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种固晶机的晶圆托盘夹具 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420774079.2 |
| 申请日 | 2024/4/15 |
| 公告号 | CN222051739U |
| 公开日 | 2024/11/22 |
| IPC主分类号 | H01L21/687 |
| 权利人 | 深圳市金中环半导体有限公司 |
| 发明人 | 张云海; 张倪哲 |
| 地址 | 广东省深圳市龙华区大浪街道水围社区华旺路279号1层 |
摘要文本
深圳市金中环半导体有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型提供了一种固晶机的晶圆托盘夹具，属于固晶机设备技术领域，包括安装座，所述安装座的上端面中心处开设有安装槽，所述安装槽内设有承载盒，所述承载盒内设有托盘体，所述安装槽的底部安装有下安装片，所述下安装片上转动连接有压框，所述压框上设有可调节压紧结构，所述压框的上侧下端面固定连接有连接片，所述下安装片的右侧固定连接有衔接片，所述衔接片上固定连接有限位块，所述安装槽的顶部安装有上安装片。本实用新型通过设置的承载盒、压框、可调节压紧结构、限位块和扣压杆，实现了快速对晶圆托盘进行夹持固定，还能够夹持多种规格的晶圆托盘，操作便捷提高安装效率，解决了现有技术中操作难度较大导致安装效率低下的问题。
专利主权项内容
1.一种固晶机的晶圆托盘夹具，包括安装座(1)，其特征在于，所述安装座(1)的上端面中心处开设有安装槽(2)，所述安装槽(2)内设有承载盒(3)，所述承载盒(3)内设有托盘体(4)，所述安装槽(2)的底部安装有下安装片(5)，所述下安装片(5)上转动连接有压框(6)，所述压框(6)上设有可调节压紧结构(7)，所述压框(6)的上侧下端面固定连接有连接片(8)，所述下安装片(5)的右侧固定连接有衔接片(9)，所述衔接片(9)上固定连接有限位块(10)，所述安装槽(2)的顶部安装有上安装片(11)，所述上安装片(11)上对称且固定连接有两个转动座(12)，两个所述转动座(12)之间转动连接有扣压杆(13)，所述安装座(1)上对称开设有两个凹槽(14)，两个所述凹槽(14)内均设有便拿结构(15)。