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一种固晶机夹持工装
申请人信息
- 申请人:山东赛克罡正半导体有限公司
- 申请人地址:250000 山东省济南市济阳区济北开发区黄河大街19号院内厂房E3-101室
- 发明人: 山东赛克罡正半导体有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种固晶机夹持工装 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202323557215.7 |
| 申请日 | 2023/12/26 |
| 公告号 | CN222051736U |
| 公开日 | 2024/11/22 |
| IPC主分类号 | H01L21/687 |
| 权利人 | 山东赛克罡正半导体有限公司 |
| 发明人 | 路立群; 石雷; 路园园 |
| 地址 | 山东省济南市济阳区济北开发区黄河大街19号院内厂房E3-101室 |
摘要文本
山东赛克罡正半导体有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型提供一种固晶机夹持工装，涉及夹持工装技术领域，包括第一支架，所述第一支架的一侧设有电机，所述电机的输出端贯穿第一支架的一侧并固定有双向螺杆，所述双向螺杆的两端外壁上均螺纹连接有移动板。通过电机的运行，能够带动双向螺杆进行转动，使两个移动板在限位柱的限位下同步相向移动，从而使两个移动板顶端固定的夹板相向移动，对放置在放置板上的晶圆盘进行夹持固定，夹持的效果更好，通过弹簧、卡板和定位板的设置，当往放置板上放置晶圆盘时，两个定位板因弹簧的推力会自动把晶圆盘竖向的位置移动到放置板的中心点处，再通过夹板的夹持，使晶圆盘的位置正好在放置板的中心点处，方便后续的处理，实用性更强。 微信公众号马克 数据网
专利主权项内容
1.一种固晶机夹持工装，包括第一支架(1)，其特征在于：所述第一支架(1)的一侧设有电机(3)，所述电机(3)的输出端贯穿第一支架(1)的一侧并固定有双向螺杆(4)，所述双向螺杆(4)的两端外壁上均螺纹连接有移动板(8)，两个所述移动板(8)的两端均滑动连接有限位柱(7)，两个所述移动板(8)的顶端均固定有夹板(9)，所述第一支架(1)的内壁上位于双向螺杆(4)的中心点处固定有放置板(6)，所述放置板(6)的顶端设有用于对晶圆盘进行定位的定位结构(11)。