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一种静电卡盘
申请人信息
- 申请人:君原电子科技(海宁)有限公司
- 申请人地址:314400 浙江省嘉兴市海宁市海宁经济开发区谷水路306号天通泛半导体产业园2幢
- 发明人: 君原电子科技(海宁)有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种静电卡盘 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420739132.5 |
| 申请日 | 2024/4/11 |
| 公告号 | CN222051733U |
| 公开日 | 2024/11/22 |
| IPC主分类号 | H01L21/683 |
| 权利人 | 君原电子科技(海宁)有限公司 |
| 发明人 | 李君; 石锗元; 裘祝恒; 肖伟 |
| 地址 | 浙江省嘉兴市海宁市海宁经济开发区谷水路306号天通泛半导体产业园2幢 |
摘要文本
君原电子科技(海宁)有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型公开了一种静电卡盘，属于半导体技术领域，包括基底、加热层、陶瓷层、第一粘合层、第二粘合层、内密封圈，其中，通过所述第一粘合层，所述加热层键合在所述基底上；通过所述第二粘合层，所述陶瓷层键合在加热层上；所述内密封圈至少环绕包裹住所述加热层的侧面、所述第一粘合层的侧面和所述第二粘合层的侧面，其特征在于，所述内密封圈的上端设有第一凸起，所述内密封圈的下端设有第二凸起，所述陶瓷层上设有与所述第一凸起配合的第一凹槽，所述基底上设有与所述第二凸起配合的第二凹槽。通过设置第一凸起和第二凸起，配合第一凹槽、第二凹槽使用，避免粘接物质受到侵蚀。
专利主权项内容
1.一种静电卡盘，包括基底、加热层、陶瓷层、第一粘合层、第二粘合层、内密封圈，其中，通过所述第一粘合层，所述加热层键合在所述基底上；通过所述第二粘合层，所述陶瓷层键合在加热层上；所述内密封圈至少环绕包裹住所述加热层的侧面、所述第一粘合层的侧面和所述第二粘合层的侧面，其特征在于，所述内密封圈的上端设有第一凸起，所述内密封圈的下端设有第二凸起，所述陶瓷层上设有与所述第一凸起配合的第一凹槽，所述基底上设有与所述第二凸起配合的第二凹槽。