一种探针的清洁装置

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合肥晶合集成电路股份有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型提供了一种探针的清洁装置，包括卡盘、底座、铰链、升降机构和倾斜机构；卡盘放置在底座上；铰链的一端与卡盘连接，另一端与底座连接；底座与升降机构连接；卡盘与倾斜机构连接。通过倾斜机构调整卡盘至合适角度，然后通过升降机构驱动底座、卡盘和清针晶圆一起上下运动进行清针动作，意想不到的效果是可以使探针的清洁死角上的金属屑能够更充分的与清针晶圆上的聚合物接触，清洁效果更好。在清针过程中，可以根据金属屑与聚合物的接触情况，调整卡盘的倾斜角度，以便进一步去除探针的清洁死角上的金属屑；由于探针上的金属屑被清洁的更加干净，探针可以使用更长的时间，降低了送原厂化学清洗探针和更换探针卡的成本。