接触深度测量治具

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深圳市昇维旭技术有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本申请属于化学机械研磨技术，具体涉及一种接触深度测量治具，用于测量晶圆与化学机械研磨机台的从动轮的接触深度。所述接触深度测量治具包括测量装置和定位装置，所述测量装置包括主体单元和活动测量单元，所述活动测量单元具有相对的测量端和连接端，所述连接端与所述主体单元连接，所述活动测量单元能够相对于所述主体单元运动，使所述测量端远离或靠近所述主体单元；所述定位装置与所述主体单元连接，用于将所述主体单元安装定位到所述从动轮的安装轴上。本申请的治具，能避免人为因素导致的测量误差，提高接触深度的测量精度，从而实现接触深度的严格把控，提高晶圆转速测量的准确性，进而控制晶圆转速使刷洗单元刷洗晶圆的清洁效果较佳。